5月16日消息，据国外媒体报道，中芯国际向ASML订购价值1.2亿美元的首批EUV光刻机(Mask Aligner)。此次采购将有助于推动中国自主研发半导体生产。EUV是当前半导体产业中最先进也最昂贵的芯片制造设备。

知情人士透露，中芯国际是在4月份美国宣布对中兴制裁的第二天下的订单。在中美两国贸易紧张的情况下，此举旨在缩小与市场领先者的技术差距，确保关键设备的供应。

ASML发言人表示，公司平等对待对待全球客户，包括中国客户，并且依据瓦圣纳协定，没有限制向中国客户销售EUV 光刻机。

光刻机是制造微机电、光电、二极管大规模集成电路的关键设备。ASML是荷兰半导体设备制造商，并于欧美上市。目前包括英特尔、三星、台积电等巨头都在购买该设备，以确保在此后的先进工艺中能制造性能更强大、设计更领先的芯片。